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ポンプの体積流量: | 600L/s N2 | 冷却: | 空気 |
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最終的な圧力: | ISO-K:6×10-7のCF:6×10-8、Pa | 真空システムの漏出率:: | ≤ 1×10-9Pa·m3/S |
ハイライト: | 真空圧力場所,真空ポンプの場所 |
RVP-6およびZDF-11A2のポンプ場FJ-620の空冷
FJ-620標準ターボ分子ポンプユニットは高真空を得るための洗浄装置です。
このような装置は、真空の原理を採用した真空取得システムであり、機械式ポンプと分子ポンプで構成されています。 それはクイックスタート、高真空、少ない油汚染、容易な操作などによって特徴付けられ、表面分析、加速器技術、プラズマ技術、電気真空装置製造および他の真空領域の分野で広く使用されている。 装置は特に非標準フレーム、機械式ポンプおよびパイプライン、電気制御システム、水冷保護制御などで構成されています。
設定:
名 | 数 |
F-160/620分子ポンプと電源 | 1 |
RVP-6メカニカルポンプ | 1 |
フレーム | 1 |
制御電源 | 1 |
ZDF-11A2コンビネーション真空計 | 1 |
その他の付属品 |
主なパラメータ:
真空システムの漏出率:≤1×10-9Pa・m3 / S
電源電圧:380V±10 / 50Hz
冷却モード:空冷
機器利用のための周囲温度:5〜40℃
機器利用のための周囲湿度:≤80%
仕様:
単位 | FJ-620F | |
フランジ(イン) | DN160 CF | |
DN160 ISO-K | ||
フランジ(アウト) | ISO-KF | DN40 |
ポンピングスピード | l / s | N 2 :600 |
彼:380 | ||
H 2 :240 | ||
Ar:580 | ||
圧縮率 | N 2:10 9 | |
彼:10 5 | ||
H 2:10 4 | ||
Ar:10 9 | ||
到達圧力 | Pa | CF:6×10 -8 |
ISO-K:6×10 -7 | ||
推奨される前真空圧 | Pa | 100 |
前真空ポンプ | RVP-6(デフォルト) | |
冷却タイプ、標準 | 空気 | |
冷却水消費 | L /分 | > 1 |
冷却水温 | ℃ | ≦25 |
入力電圧/周波数 | V / Hz | 380±20/50 |
環境温度(℃) | 水冷 | 5℃〜40℃ |
空冷 | 5℃〜32℃ | |
取り付け位置 | 垂直 | |
コントローラーモデル | FD-ⅡB/ TCDP-Ⅱ | |
L * W * H | mm | 550×690×956(LF) |
550×690×970(CF) | ||
重量 | kg | 117 |
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935